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超纯水处理设备在芯片制作行业的利用
起源:www.bigxer.com发布时间:2019年03月06日

  随着水处理行业快速发展,不光有可供人饮用的净水,清洗各机器的纯水也随之而来。而超纯水处理设备在各行业利用十分广泛,尤其是芯片制作行业对超纯水的水质请求非常高,在生产过程中需用大批的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。这也对超纯水处理设备的处理工艺及产品的简易性、主动化程度、生产的持续性、可持续性等提出了严格的请求。

  一般来说,我国电子工业部电子级水质技巧标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。

超纯水处理设备在芯片制作行业的利用

  为满足用户需要,达到符合标准的水质,尽可能地减少各级的污染,延伸设备的应用寿命、降低操作人员的掩护工作量。在工艺设计上,超纯水处理设备中水箱均设有液位把持系统、水泵均设有压力掩护装置、在线水质检测把持仪表、电气采用PLC可编程把持器,真正做到了无人职守,有更高的性价比和设备可靠性。

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